产品概述
EFU 超薄型设备端风机单元面向安装高度受限的工艺设备、微环境和局部洁净区域。箱体、风机和过滤器组合可按设备接口尺寸定制。
主要特点
- 低高度紧凑结构
- 设备端局部循环或补风
- 可选 HEPA / ULPA 过滤器
- 支持 EC 调速与状态反馈
- 检修方向可结合现场布置设计
关键确认项
| 项目 | 设计依据 |
|---|---|
| 安装高度 | 设备上方净空与检修空间 |
| 送风面积 | 工艺开口与目标面风速 |
| 过滤等级 | 颗粒控制目标与终阻力 |
| 接口方式 | 设备法兰、吊装或支架条件 |
应用场景
半导体设备端、自动化产线局部洁净、微环境及改造空间受限区域。